干式氦检漏仪UL1000 Fab

本身带有干式真空系统的移动式UL1000 Fab 是一台自动化检漏仪，提供快速抽空和短响应时间,符合半导体应用要求。

用户优越性

•   跨越15个量级的宽测量范围

•   短的抽空和响应时间

•   可移动的全金属外壳，具有无比的便利性与可操作性

•   I-CAL(漏率的智能计算程序)确保在全部测量范围内最快速的响应时间

•   带自动集成时间对准的抑零功能用于快速与可靠的测试结果

•   带耐用的涡卷泵和多进气口涡轮分子泵的智能真空结构提供高的氦抽速和高压缩比

•   可旋转的显示器和用户界面，可简单和容易地控制和与仪器之间的交互作用

•   自保护功能避免 UL100 Fab 受到氦或微粒的污染

•   自动冲净周期确保清除污染和准备测试

•   软件更新可简易地通过电子邮件

•   耐用的质谱仪系统的双灯丝离子源(3 年保用期) 保证长的运行时间和低的维护费用

•   内置的测试漏孔用于内部校准保证精确的测试结果

•   内置软件菜单“自动试漏”功能,执行密闭性封闭元件的测试使用测试室 TC1000 选件可自动化运行这个测试过程

•   可选的运距控制用于有线(远至 28 米)或无线(远至 100 米)，用3.5“全彩色的触摸屏显示器操作

先进的软件菜单自动漏率测试

这个功能控制测试周期和键入测试参数，如

• 测量的周期时间

• 触发值

• 测试的试件数

可在显示器上自始至终地监测测试周期.测试室选件 TC1000使UL100 Fab 成为用户友好的密闭性封闭元件的测试台.

当盖上测试室盖时，测试过程自动开始，可达到短的周期时间(10-9毫巴·升/秒在<5 秒的时间周期内)测试的状态始终在显示器上监测.在达到测试时间后，测试停止和将室放空.可选的“待用”模式在不连续的漏率测试中,将测试室保持在真空下.保护功能防止因大漏的氨污染和确保连续运行。