UL1000 Fab 氦检漏仪满足洁净环境的检漏要求

INFICON UL1000 Fab 移动式氦检漏仪专门设计用于满足洁净环境下苛刻的检漏要求：测试灵活性，高灵敏度，快速与精确的结果,快速启动，可移动性和系统的可靠性。UL1000 Fab 最佳化为预防性维护，非计划性检修,气体管线,和其它漏率测试应用快速提供漏率测试结果。

UL1000 Fab 满足微电子学市场的要求，产品特征范围从它坚固的金属外壳,清洁室兼容的轮子,至用于在超灵敏的10^-11与10^-12漏率范围内长时间求平均值的无可比拟的运算法则I-CAL*。

I·CAL 实现超快速检测

采用名称为I·CAL 的特殊软件运算法则，在 10^-2 毫巴升/秒量级UL1000 Fab 提供非常卓越的测量速度，使这个量级真正能用于测量。而其它检漏仪为达到要求的稳定性，必须花费数分钟的时间来平均讯号，装备有ICAL 的UL1000 Fab 在如此低的漏率测量范围中具有无比高的反应速度和稳定性。

方便的旋转式显示器

UL1000 Fab 提供可旋转的控制界面，内置的显示器以大号字体和极高的清晰度显示测量结果，从而可从相当远的距离，方便地观察读值。显示模式可选数字,条图，趋向或环形显示。最重要的基本功能(启动,抑零,停止)可一键操作。软件是菜单控制和容易使用的，菜单的项目可保护,防止未授权的使用或无意的修改。

UL1000 Fab 专门设计用于清洁室应用

用途:

·电子及半导体工业的设备维护

·过程气体系统的检验和安装

·电子元器件的密封性检漏

·要求高抽速和高灵敏度,以及清洁测试条件的应用

高可靠性的真空系统倍增信心

真空系统包含一台干式涡旋泵和一台具有高压缩比与高抽速的涡轮分子。分子泵的高进气口压强及高抽速，使系统快速达到低于合格漏率的检测水平，开始检漏运行。涡轮分子泵的多进气口可将检测限值最佳化至被测试元件的压强条件。内置的系统保护确保质谱仪和离子源免受大气冲击和污染，以及其它可缩短灯丝寿命,危害质谱仪整体清洁度的因素。

生产高质量产品

全部 INFICON 元件和检漏仪在无油的条件下生产，清洁室条件用于质量控制。每台检漏仪均经过质量测试，确保您的 INFICON 检漏仪具有最佳的性能。